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价格：电议
采购度：104 原产地：中国大陆
发布时间：2022/4/26 14:52:52
| 测量技术 | 非接触式涡流传感器 |
| 基质 | 箔、玻璃、晶片等。 |
| 基底面积 | 8英寸/ 204毫米x 204毫米(三面开口) |
| 大值样品厚度/传感器间隙 | 3 / 5 / 10 / 25毫米(由厚的样品确定) |
| 金属薄膜(如铜)的厚度测量范围 | 2纳米–2毫米(根据薄层电阻) |
| 设备尺寸(宽高比) | 11.4英寸x 5.5英寸x 17.5英寸/ 290毫米x 140毫米x 445毫米 |
| 重量 | 10公斤 |
| 更多可用功能 | 薄层电阻测量/金属厚度监控器 |
|
| VLSR | LSR | MSR | HSR | VHSR |
|
| 6 decades are measurable by one sensor, but with slightly affected accuracy | ||||
| Range [Ohm/sq] | 0.0001 – 0.1 | 0.1 – 10 | 0.1 – 100 | 10 – 2000 | 1,000 – 200,000 |
| Accuracy / Bias | ± 1% | ± 1 – 3% | ± 3 – 5% | ||
| Repeatability (2σ) | < 0.3% | < 0.5% | < 0.3% | ||
更新时间：2022/8/12 12:01:04
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徐徐